EQ-10采用了升級版的無電極Z-pinch?技術，具有緊湊易用，高可靠性以及低成本等特點非常適用于測量以及研究等應用領域。該款光源已經在全球交付30多臺，均得到客戶的一致好評，現已經成為EUV用戶的主要光源來源。
為了滿足不同應用的使用需求，該產品在使用上進行了如下的優(yōu)化，以期更加地用戶友好：1、用戶可以根據對峰值功率和峰值亮度的不同來調節(jié)EUV的光輸出。2、在典型操作中，等離子體的直徑通常小于1mm。3、系統(tǒng)外側留有光學接口，方便客戶進行應用程序設備的連接。4、自定義彩色用戶頁面，客戶可跟根據需求選擇手動或者自動菜單。
